熱陰極真空計ITR 200 S

真空壓力測量和原理

隨著真空應(yīng)用領(lǐng)域的拓展，對真空變送器量程的要求達到2000毫巴至10^-12毫巴，測量范圍達16個數(shù)量級。

由于物理特性的原因，沒有一個單獨的真空計能夠在整個壓力范圍內(nèi)進行定量測量。因此，萊寶真空提供一系列采用不同設(shè)計的具有各自特有測量范圍（測量原理應(yīng)用直接壓力測量和間接壓力測量）的真空計。

直接（）式壓力測量與被測量的氣體類型無關(guān)。利用機械方法，通過作用于薄膜表面的壓力進行測量。

間接壓力測量通過測量氣體也壓力有關(guān)的性質(zhì)（例如熱導(dǎo)率，電離概率）進行間接測量的，因此間接壓力測量的結(jié)果取決于具體的氣體類型。測量讀數(shù)是以空氣或氮氣為測量氣體時的讀數(shù)，對于其他氣體，可利用修正因數(shù)修正測量讀數(shù)。

萊寶真空變送器控制簡單，極易與系統(tǒng)集成。

萊寶真空計的優(yōu)勢：

可靠性高

操作簡單

測量結(jié)果重復(fù)性好

持續(xù)監(jiān)測若干測量地點

安裝簡單并且節(jié)省成本和空間

測量地點和加工站之間的傳輸距離變長（可達100米）

通過數(shù)字/模擬接口將數(shù)據(jù)傳輸至PLC/計算機

符合電磁兼容性（EMC）要求

符合國際標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)程（CE,UL,RoHS,WEEE等）

ITR90/ITR90PB,ITR200S/ITR200SP

IONIVAC型變送器采用熱陰極電離計與皮拉尼傳感器的組合，具有量程寬的特點，適用于對不可燃的氣體和氣體混合物進行真空壓力測量。

優(yōu)勢

皮拉尼與熱陰極復(fù)合真空計

ITR200采用雙燈絲設(shè)計，維護周期長

體積小，節(jié)省安裝空間

測量原理

BA型熱陰極電離真空計與皮拉尼熱導(dǎo)真空計的組合

量程范圍

5.10^-10mbar到1000mbar