典型應用

- PVD鍍膜系統(tǒng)

- 建筑玻璃鍍膜

- 光學鍍膜

- 液晶顯示器

- 平板顯示

- 科研

- 分析領域

技術特點

- 任意方向安裝

- DN 200和/或250 ，在ISO-F和/或CF

高真空接口

- DN 40 KF前級真空接口

- 保護氣/破空接口DN 16 KF（卡簧

式）

MAG INTEGRA 系列產品

MAG INTEGRA – 集成磁懸浮復合分子泵

- 水冷

- CE和RoHS認證：滿足UL要求

- 防護等級IP 54

- 兩個工業(yè)通信模塊卡接口

- RS 232，維護接口

- 可以安裝其它接口：Profibus、RS

485 C，9針24 V SPS

客戶得益

- 抽速和氣載量較高

- 可靠、耐用

- 免維護

- 適合用于分析、薄膜技術、電子顯

微鏡、科研領域等對振動敏感的應

用場合

- 由于采用模塊化設計具有靈活性，

變頻器可以安裝在一側或下面

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