萊寶DIP20000油擴散泵主要技術(shù)參數(shù)：

抽速：20 000L/S

極限全壓強：< 5.0 x 10-7mbar

蒸汽流真空泵的工作原理

擴散泵的運行倚賴于泵油蒸汽，其主要部件有：

- 含有進氣口和排氣口的冷卻泵體

- 噴嘴系統(tǒng)

- 泵油鍋

擴散泵工作時，油鍋內(nèi)泵油被加熱至氣化，油蒸汽被強迫通過泵內(nèi)噴嘴系統(tǒng)。噴嘴的特殊設(shè)計能將蒸汽加速至大于音速（拉瓦爾噴嘴），于是形成高速蒸汽噴射流，并被噴嘴以特定角度噴向泵體。蒸汽接觸冷泵體后，冷凝成液態(tài)泵油流回油鍋。擴散泵和其它類型的蒸汽流真空泵的抽氣能力主要基于蒸汽噴射流對氣體的傳輸能力。被抽氣體在排氣口被充分壓縮后由前級泵抽出。

油擴散泵

與其它的類型的蒸汽流真空泵相比，油鍋內(nèi)和蒸汽射流中的蒸汽密度是相當?shù)偷模虼藲怏w分子幾乎可以全部擴散進入蒸汽射流中，而其中的絕大部分分子會被抽出。

擴散泵的抽速（與進氣口面積相關(guān)）高而恒定， 在進氣壓強約為10-3mbar(0.75×10-3Torr)至很低壓強范圍內(nèi)，蒸汽射流不受真空室內(nèi)壓強變化的影響。

油擴散泵的工作

前級真空

在任何情況下，擴散泵都需配足夠大小的前級泵（見技術(shù)數(shù)據(jù)），前級真空泵的規(guī)格和類型取決于工作條件和所抽氣體量。

1.在10-4 mbar（0.75 x 10-4托）以上連續(xù)工作 — 抽大量氣體。

2.在10-4 mbar（0.75 x 10-4托）以下連續(xù)工作 — 抽較少量氣體。

使用擴散泵時，真空室必須通過閥（3）和粗抽線直接連到前級泵。先用前級泵

將真空室抽低至擴散泵能正常切入的壓強，如擴散泵已準備完畢，可打開高真

空閥（4）開始。真空室破空前，必須關(guān)閉前級真空閥（2）和高真空閥（4），擴散泵維持在備用狀態(tài)。

抽速

任何一種泵的抽速都是指通過泵吸入口的體積流量。對于擴散泵來說對輕氣體抽速比重氣體抽速大。

泵油返流

某些油分子脫離蒸汽噴射流且未能被冷卻的泵體捕集時，就可能發(fā)生不希望的返流現(xiàn)象。油分子之間的碰撞和泵體的反射，使其可能向真空室方向運動。

DIP擴散泵的返油率僅為每分鐘每cm2進氣口面積幾μg，加水冷帽或冷阱捕集后，幾乎可完全消除油返流。

擴散泵的返油率

- 無水冷帽和冷阱

約 1 x 10-2 mg x cm-2 x min-1

- 加有水冷帽

約 1 x 10-3 mg x cm-2 x min-1

- 加有冷阱

(T = 10 °C (50 °F))

約 1 x 10-5 mg x cm-2 x min-1

以上數(shù)據(jù)是在進口壓強<1×10-4 mbar以及LVO500條件下測定的。

可達到的極限壓強

真空系統(tǒng)可達到的極限壓強不僅與擴散泵型號和額定抽速有關(guān)，還與泵油蒸汽壓、冷阱的形狀和溫度、連接法蘭或焊接點的泄漏以及真空室內(nèi)表面狀況有關(guān)。

在消除了因泄漏和腔體內(nèi)壁臟造成的放氣影響后，它將能達到“概述”一節(jié)所給“油擴散泵（DIP）可達到的極限壓強”表中所述值。

實際上，以下組合對于實現(xiàn)無返油的高真空有很好的效果。

- 集成了水冷帽的擴散泵加配星形冷阱，水冷星形冷阱安裝在擴散泵高真空法蘭上。

密封方式

對10-8 mbar (0.75 x 10-8 Torr)的極限壓強要求，烘烤溫度150 °C (302 °F)已足夠。須使用FPM ( FPM=氟橡膠，可耐150 °C (302 °F) 溫度 ) 密封圈或鋁制超級密封環(huán)。

為防止壓強的變化，擴散泵與冷阱之間必須使用超級密封環(huán)。

低于10-8 mbar(0.75 x 10-8 Torr)的極限壓強則要求烘烤溫度高達400 °C ( 752 °F )。

實際上只須將真空室烘烤到400°C (752°F)，而在冷阱上維持一個溫度梯度，使泵入口法蘭不超過150 °C (302 °F)。

在這種條件下，允許使用FPM密封環(huán)或鋁制超級密封環(huán)。

冷卻

冷卻進水溫度不應(yīng)超過25 °C (77 °F)，出水不應(yīng)大于30 °C (86 °F)，否則不能保證泵油充分冷凝。當串聯(lián)泵和冷阱的冷卻水回路時，必須使冷卻水首先流過冷阱然后再流過擴散泵，因為真空室可

達到的極限壓強在很大程度上取決于冷阱上泵油的冷凝溫度。

DIP系列泵是為工業(yè)系統(tǒng)使用而開發(fā)的。優(yōu)秀的真空性能與這種泵固有的機械耐用性相結(jié)合，使萊寶的擴散泵成為高和中真空領(lǐng)域的可靠設(shè)備。

供貨范圍

油擴散泵在供貨時已具備連接條件，但沒充泵油。

交貨前泵內(nèi)部已擦洗干凈，無油且已抽空。高真空和前級真空法蘭已經(jīng)配裝有發(fā)運法蘭，及所需配套之密封圈和中心定位環(huán)及全套緊固部件。

客戶得益

- 在高真空范圍內(nèi)具有很高抽速

- 可獲得很低的極限壓強

- 集成的水冷帽可確保向真空室極低的返油率

- 集成的水冷前級真空擋板確保低油耗（即使在高氣載下）

- 即便在減小加熱功率下仍具有高前級背壓

- 加熱棒在插入油鍋的加熱套管中，方便操作可快速更換（即使泵為熱態(tài)）

- 每個加熱棒對應(yīng)單獨的自動斷路器，確保電氣高度安全

- 標配超溫保護開關(guān)防止熱過載，保證加熱棒不會過熱

- 所有泵已預(yù)留位置，可安裝冷卻水過溫保護開關(guān)（備選件）以檢查冷卻水

回路，和觸點指針溫度計（備選件）以監(jiān)視擴散泵工作溫度

- 通過油位視窗指示可檢查當前油位

- 所有DIP泵交貨時其內(nèi)室潔凈無油并

抽空，方便加入所需泵油類型

- 可以選配能耗管理系統(tǒng)，較大限度的節(jié)省擴散泵的運行成本。（部分型號適用）

典型應(yīng)用

DIP系列擴散泵可用于鍍膜系統(tǒng)、真空熔煉和干燥系統(tǒng)以及真空爐/熱處理

訂貨信息

1)用LVO500泵油按DIN 28 427測得。

2)冷卻水需要量參看ΔT = 10 °C (50 °F)。出水溫度不應(yīng)超過30 °C (86 °F)。

3)前級泵/組可選用單或雙級旋片泵（TRIVAC；SOGEVAC）或者滑閥泵（E/DK），以及羅茨真空泵（RUVAC）的組合。

4)泵不含油，需單獨購買。

5)改裝套件。